潔凈廠房中，工藝管道通常包含高純氣體管道系統(tǒng)，這些高純氣體管道屬于潔凈技術控制范疇，有三個重要參數(shù)指標：氣體純度、干燥度、潔凈度（即三度控制）。

      氣體純度--指氣體中雜質氣氛的含量，通常用氣體純度的百分數(shù)表示，如99.9999%（俗稱6個9），也可用雜質氣氛含量的體積比ppm、ppb表示。潔凈廠房高純氣體管道系統(tǒng)建成的各個環(huán)節(jié)，必須做到上流的合格氣體，流經(jīng)廠房管道系統(tǒng)到達用氣點的氣體純度仍能滿足工藝對用氣純度的要求。

      干燥度--氣體中微量水分的含量，通常以露點表示，如露點-70℃，或以含濕量ppm表示，如含濕量2.584ppm。（兩者的轉換見附錄1）

      潔凈度-- 指氣體中含有污染物粒子的數(shù)量，粒徑為μm的粒子的個數(shù)，pc/m³。高純氣體管道通常使用在潔凈的生產(chǎn)環(huán)境當中，對應的潔凈環(huán)境等級，在《潔凈廠房設計規(guī)范GB50073-2001》中，直接采用國際標準ISO14644-1（詳見附錄2）

       對高純氣體潔凈度的控制，當設計未加特別注明時，施工中對潔凈度的控制應與使用空間的潔凈度等級保持一致，嚴防氣體中的污染物粒子超過規(guī)定值，而造成管路系統(tǒng)或潔凈生產(chǎn)空間的污染。潔凈廠房高純氣體管道的設計、施工管理，不同于一般工業(yè)氣體管道，任何一個環(huán)節(jié)稍有失控，就可能影響輸送氣體的質量，從而導至無法生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品。

      因此，高純氣體管道系統(tǒng)施工有嚴格的技術規(guī)范，總則要求介紹如下：

    1.氣體管道的干管，應敷設在上下技術夾層或技術夾道內(nèi)，當與水、電管線共架時應設在其上部。

   2.當采用碳素鋼支吊架、碳素鋼管卡時必須是鍍鋅件，且不銹鋼管道與其接觸處應采用不產(chǎn)塵的非金屬材料隔離。

  3. 高純氣體管道的設計應符合下列要求：

a. 按氣體流量、壓力或生產(chǎn)工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于φ6×1mm；

b. 管道系統(tǒng)應盡量短；

c. 不應出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角；

d. 管道系統(tǒng)應設必要的吹除口和測試取樣口。

  4. 氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施，并用裝飾板封堵。

  5. 可燃氣體和氧氣管道的末端或最高點應設放散管。放散管引至室外應高出屋脊1米，并應有防雨、防雜物侵入的措施。可燃氣體和氧氣管道還應符合《潔凈廠房設計規(guī)范》8.4安全技術措施的有關要求。

  6. 高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。