? ? ? 100級的潔凈室，是室內環(huán)境的污染顆粒物的控制較高，凈化空調的組合宜采用PAHU+AHU+FFU 的空調方式，其中：PAHU 為新風處理機組，AHU 為空氣處理機組，F(xiàn)FU為帶風機的高效過濾器系統(tǒng)中加 PAHU，潔凈室正壓由 PAHU 風機馬達變頻控制，同時使室外環(huán)境的變化對潔凈室的影響減小，對潔凈室的溫、濕度控制有利。

? ? ? 每個車間均為獨立空調系統(tǒng)。凈化空調機組 AHU 將從室內抽回的回風與新風機組 PAHU 處理過的新風混合，經(jīng)過風柜的過濾段、冷卻段、加濕段等處理后，送至潔凈室天花板上的空間，再與由回風技術夾墻回到天花板上的室內空氣混合經(jīng) FFU 送到室內空間，生產設備的局部排風由排風機排至室外。

? ? ? 潔凈室氣流組織為上送下回單向流，天花上基本布滿 FFU 送風，地板采用開孔率為 18%的架空地板，部分地板有調節(jié)閥，以調節(jié)氣流的流型。