潔凈廠房中，工藝管道通常包含高純氣體管道系統(tǒng)，這些高純氣體管道屬于潔凈技術(shù)控制范疇，有三個(gè)重要參數(shù)指標(biāo)：氣體純度、干燥度、潔凈度（即三度控制）。

      氣體純度--指氣體中雜質(zhì)氣氛的含量，通常用氣體純度的百分?jǐn)?shù)表示，如99.9999%（俗稱6個(gè)9），也可用雜質(zhì)氣氛含量的體積比ppm、ppb表示。潔凈廠房高純氣體管道系統(tǒng)建成的各個(gè)環(huán)節(jié)，必須做到上流的合格氣體，流經(jīng)廠房管道系統(tǒng)到達(dá)用氣點(diǎn)的氣體純度仍能滿足工藝對(duì)用氣純度的要求。

      干燥度--氣體中微量水分的含量，通常以露點(diǎn)表示，如露點(diǎn)-70℃，或以含濕量ppm表示，如含濕量2.584ppm。（兩者的轉(zhuǎn)換見附錄1）

      潔凈度-- 指氣體中含有污染物粒子的數(shù)量，粒徑為μm的粒子的個(gè)數(shù)，pc/m³。高純氣體管道通常使用在潔凈的生產(chǎn)環(huán)境當(dāng)中，對(duì)應(yīng)的潔凈環(huán)境等級(jí)，在《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001》中，直接采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1（詳見附錄2）

       對(duì)高純氣體潔凈度的控制，當(dāng)設(shè)計(jì)未加特別注明時(shí)，施工中對(duì)潔凈度的控制應(yīng)與使用空間的潔凈度等級(jí)保持一致，嚴(yán)防氣體中的污染物粒子超過規(guī)定值，而造成管路系統(tǒng)或潔凈生產(chǎn)空間的污染。潔凈廠房高純氣體管道的設(shè)計(jì)、施工管理，不同于一般工業(yè)氣體管道，任何一個(gè)環(huán)節(jié)稍有失控，就可能影響輸送氣體的質(zhì)量，從而導(dǎo)至無法生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品。

      因此，高純氣體管道系統(tǒng)施工有嚴(yán)格的技術(shù)規(guī)范，總則要求介紹如下：

    1.氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在上下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水、電管線共架時(shí)應(yīng)設(shè)在其上部。

   2.當(dāng)采用碳素鋼支吊架、碳素鋼管卡時(shí)必須是鍍鋅件，且不銹鋼管道與其接觸處應(yīng)采用不產(chǎn)塵的非金屬材料隔離。

  3. 高純氣體管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：

a. 按氣體流量、壓力或生產(chǎn)工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于φ6×1mm；

b. 管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短；

c. 不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角；

d. 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必要的吹除口和測(cè)試取樣口。

  4. 氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施，并用裝飾板封堵。

  5. 可燃?xì)怏w和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施?？扇?xì)怏w和氧氣管道還應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》8.4安全技術(shù)措施的有關(guān)要求。

  6. 高純氣體終端過濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。